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POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) PTFE 標(biāo)準(zhǔn)版
POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) PTFE 標(biāo)準(zhǔn)版
POLOS® SPIN150x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機(jī)，由PTFE制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。
可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)臺(tái)式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本，用于手動(dòng)或自動(dòng)（可選）化學(xué)藥劑分配。
適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。
POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) PTFE 標(biāo)準(zhǔn)版
腔室規(guī)格：
- 最大支持6英寸（150毫米）晶圓
- 最大支持4英寸×4英寸（100毫米）基板
- 材料： PTFE
硬件規(guī)格：
- 液體過濾器
- 特殊的外殼和排水口設(shè)計(jì)，可在現(xiàn)場(chǎng)切換臺(tái)式和內(nèi)嵌式型號(hào)
- 用于注射器或分配噴嘴的中心注射座
- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全
- 大型（可拆卸）觸摸顯示屏
- USB 端口，用于在 USB 驅(qū)動(dòng)器上存儲(chǔ)配方和進(jìn)行軟件更新
- 3 個(gè)輸入/輸出端口
驅(qū)動(dòng)裝置規(guī)格：
- 間接無刷驅(qū)動(dòng)裝置
- 最高 12,000 RPM（取決于基體/卡盤）
- 高加速度和高精度
- 加速/減速 1-30,000 RPM
- CW、CCW旋轉(zhuǎn)和Puddle選項(xiàng)
隨附旋涂?jī)x卡盤和適配器
- 隨附1個(gè)A-V36-S45-PTFE-HD真空卡盤.
- 隨附1個(gè)D-V10-S50-PTFE-HD碎片適配器.
- 由FCA SPS-Europe, The Netherlands提供
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